背景及概述[1-2]

我国多晶硅规模近10万吨/年，预计2010年底产量将达到4万吨，2012年将达到6万吨。而多晶硅生产企业主要采用改良西门子法技术，其主要反应机理是：三氯硅烷（SiHCl

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）在氢气氛围和1100℃高温作用下发生自身还原沉积反应，生成多晶硅、四氯硅烷（SiCl

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）和氯化氢（HCl）。据统计，采用改环保增塑剂168良西门子法每生产1吨晶硅将消耗近25吨三氯硅烷，同时产生副产物四氯硅烷20吨。按国内多晶硅年产能3万吨计算，则会产生60万吨的四氯硅烷副产物，预计2012年我国因多晶硅而产生的四氯硅烷副产物将高达120万吨。四氯硅烷是当硅在使用包括HSiCl

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和氢气(H

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)的原料气的化学沉积(CVD)反应器中沉积在底物上时产生pp附着力促进剂的副产物。需要将四氯硅烷转换成将在原料气中使用的HSiCl

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。四氯硅烷转换成HSiCl

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的一种工艺包括将原料气H

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和四氯硅烷送入其中具有硅颗粒的流化床反应器(FBR)中。四氯硅烷具有急性毒性，其受热或者遇水极易分解生成二氧化硅（SiO

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）和氯化氢（HCl），氯化氢为有毒的腐蚀性烟气，对眼睛及上呼吸道有强烈刺激作用，高浓度可引起角膜混浊，呼吸道炎症，甚至肺水肿，皮肤接触后可引起组织坏死。若将四氯硅烷直接排放将严重影响生态环境，并....