背景及概述[1][2]

当前世界上掌握生产高纯三氯硅烷技术的国家不多，只有美国、日本、德国、俄罗斯等少数国家能够做到大工业规模生产，其中最大的生产厂商是德国的Wacher 公司和美国的 Dow Corning 公司。我国有机硅工业的发展较晚，起始于20 世纪 50 年代初，到 80 年代以后，有机硅产品生产厂家才迅猛涌现，遍及全国各地。而我国在 20 世纪 90 年代初已建成一定规模的三氯硅烷生产装置，开始了规模化生产的模式。

然而，因工艺技术条件所限，我国各生产厂商生产的三氯硅烷产品的纯度只能满足中低端应用，高纯度级别三氯硅烷仍需依赖进口。因此，我国应加紧开发高纯度级别的三氯硅烷产品，并发展具有自主知识产权的工艺技术，缩短与国外先进水平的差距，增加国产高品质三氯硅烷的市场份额。经过多年的发展积累，随着三氯硅烷合成及提纯技术日趋成熟，国内三氯硅烷行业的发展速度也增长较快。国内专业的三氯硅烷生产厂商现在也有不少，年合成能力几千吨至上万吨的都有。目前国内部分三氯硅烷生产厂商生产能力见表所示：

随着我国有机硅产业的增长和对环境保护问题重视程度的提高，太阳能电池作为一个新的清洁能源，越来越受到重视，太阳能电池行业的飞速发展对三氯硅烷的需求量迅速增加。因此全国各地开始纷纷扩建三氯硅烷项目，或对现有生产线进行技术改造提升，以达到扩产能的目的。

三氯硅烷是制造有机硅烷偶联剂中最基本的单体，同印尼硬脂酸时也是制备多晶硅的主要原料。近年来随着三氯硅烷的用途逐渐拓宽，需求量大幅增加。与国外先进的工艺技术相比，国内三氯硅烷生产中还存在生产不稳定，生产的副产物不能综合利用，尾气回收存在资源浪费等许多难点问题。

理化性质及结构[1]

三氯硅烷，又名硅仿、硅氯仿、三氯硅烷，....