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硅酸乙酯的纯度检测方法
背景及概述[1]
硅酸乙酯(TEOS)是一种无色液体，主要用作防热涂料、耐化学作用的涂料、硅烷偶联剂、有机合成中间体以及半导体领域中化学气相沉积(CVD)SiO
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薄膜的前驱体等。硅酸乙酯的熔点为-77℃，沸点165.5℃，微溶于水，溶于乙醇和乙醚。
纯度检测方法[2]
1、仪器准备：
hp-5填充(5％)-二苯基(95％)-二甲基聚硅氧烷毛细管色谱柱：长30m，内径0.25μm，膜厚250μm。
氮气、氢气和空气，纯度至少在99.999％。
顶空进样器配有自动进样系统。
温度设置，柱温：75℃2min 10℃/min 185℃6min，检测器：250℃，进样器：200℃。
分流比：1：120.0。
柱流量：1ml/min。
进样量：0.2μl。
2、开机工作，先将气相色谱仪中通入载气氮气，设置其载气的流量为30mL/min，然后启动气相色谱仪；当温度升至120℃时，同时打开空气阀门和氢气管道阀门，空气的流量为400....
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