背景及概述[1-2]

多晶硅产业作为太阳能开发和利用的重点，近年来在我国呈高速发展和扩张之势，有效地推动了我国新能源产业的发展。以太阳能发电技术为核心的光伏产业得到了迅猛发展。目前影响太阳能发电技术快速发展的主要原因仍在于制备太阳能发电设备的主要材料———多晶硅的生产成本较高，约占太阳能发电总成本的50％。探索低成本、高质量的多晶硅生产方法是促进光伏产业快速发展的有效途径之一。由于高纯多晶硅市场呈现严重供不应求的紧张态势，光伏太阳能产业许多下游企业饱尝多晶硅短缺之苦。在生产高纯多晶硅的技术方面，目前多种生产工艺路线并存。国际上多晶硅生产主要的传统工艺有改良西门子法、硅烷热分解法，其中硅烷热分解法是近年来发展较快的一种低能耗、高产率的方法。硅烷作为生产多晶硅和节能玻璃必不可少的特种气体，在电子产品、高效太阳能电池、航空航天和军事工业等领域广泛应用。目前国际上生产硅烷的方法主要有日本小松电子法（硅化镁法）、氢化锂还原三氯氢硅法、美国MEMC公司专有的氢化铝钠还原四氟化硅法和UCC法（氯硅烷经氢化和二次歧化反应）。硅化镁法具有投资低、工艺成熟、能耗低等优势，作为硅化镁法生产硅烷的重要原料，现有的研究主要侧重于硅化镁制备设备的研究，而对硅化镁制备工艺的研究较少。化学....